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ENS Cachan - Laboratoire de photonique quantique et moléculaire

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Recherche - Valorisation

Fluorine plasma treatment on SU-8 polymer for integrated optics,

B. Bêche, P. Papet, D. Debarnot, E. Gaviot, J. Zyss, F. Poncin-Epaillard,Opt. Commun., vol 246/1-3 pp. 25- 28 (2005).

Type :
Publication

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