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ENS Paris-Saclay - Lumière, Matière et Interfaces

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Recherche - Valorisation

SU-8 waveguiding interferometric micro-sensor for gage pressure measurement ,

N. Pelletier, B. Bêche, N. Tahani, J. Zyss, L Camberlein and E. Gaviot,Sensors Actuators A 135 179–184 (2007).

Type :
Publication

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